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半导体检验设备
退火前清洗机
该设备是半导体晶片退火前清洗设备，采用无篮清洗的方式，实现晶片退火前的酸洗、碱洗、热水慢提拉与 IR（红外）干燥，在退火前有效去除晶片表面杂质。
MCV测试前清洗机
该设备是半导体外延片测试前腐蚀清洗工艺设备，可实现外延片的测试前腐蚀、清洗、慢提拉及烘干。
游星轮清洗机
该设备是半导体游星轮清洗设备，可实现游星轮的自动清洗。
EPI零部件清洗机
该设备是半导体外延EPI零部件清洗设备，可实现EPI零部件酸洗、水洗、自动配液、自动补液，兼容多种石英件、金属件。
周转片盒清洗机
该设备是半导体周转片盒清洗设备，可实现片盒的自动刷洗、清洗、吹干。
石英管清洗机
该设备是半导体石英管清洗设备，可实现石英管的自动搬运、酸洗、水洗、吹干、自动配液、自动补液，并可满足多种规格石英管、石英舟、SiC炉管的清洗需求。
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